【IO-Link對應】
通過IO-Link通信可進行數據收集并且可進行從上上等的遠程操作。

【檢測系統異常（預防維護）】
除檢測傳感器、電磁比例閥老化的自我檢測外，還檢測包括周邊系統在內的異常。
通過IO-Link輸出警告。

【適用流體、流量范圍】
空氣、氮氣：0.015～50?/min
氬氣：0.015～50?/min
氧氣、管道燃氣、甲烷、丙烷：0.015～10?/min
氫氣、氦氣：0.06～20?/min

【搭載控制狀態一目了然的數字顯示器】
對流量值進行3位數字顯示。
除了錯誤顯示之外，還顯示輸出狀態(開關輸出ON-OFF)。

【0.5秒的高速控制】
采用經過硅微加工的白金傳感器芯片，實現0.5sec的高速控制。

【高度可靠的流量控制】
再現性：±１%F.S.
精度：±3%F.S.